?UV紫外線光解和等離子技術是現今應用于有機廢氣降解最常用的兩種方法。采用這兩種辦法，都能將廢氣中的有機成份，分解為無害的水及二氧化碳，并預防了二次污染。但這兩種方法，仍各有優缺點。
? ? ? ?UV光解是利用特殊的低壓紫外燈管能同時發射出185nm紫外線和254nm紫外線的雙光譜特性。燈管發射出的185nm紫外線，能觸發空氣中的O2（氧），轉化為O3（臭氧）。臭氧具有很強的氧化能力，其與廢氣中的碳氫化合物（如苯類、烴類、醇類、脂類等）充分混合接觸后，在燈管發射出的254nm紫外線的照射催化條件下，能將這些有害污染物，直接氧化分解為水和二氧化碳。由此可見，紫外燈管發射出的185nm紫外線，起到了提供氧化反應物的作用；而燈管發射出的254nm紫外線，起到了提供光解反應順利進行的必要反應條件的作用。但紫外燈管的臭氧產生能力較低，如現在使用最為普遍的150W U形臭氧紫外線燈管，在氧氣充足的條件下，每小時的臭氧產生量約為900mg左右，即其單位功率每小時的臭氧產生量僅為6mg/w。而臭氧作為光解反應中的一種主要的反應物質，其產生量的多少，直接影響著處理效果的好壞。
? ? ? 等離子技術，是利用高壓的電場，使空氣中的O2電離產生O3，其臭氧產生效率要比紫外燈管高很多。如60W石英真空等離子管，其每小時的臭氧產生量約為6000mg左右，即其單位功率每小時的臭氧產生量為100mg/w，是紫外燈管單位功率臭氧產生量的16倍。但等離子管幾乎不發射出紫外線。缺少了紫外線的催化作用，在單純采用等離子工藝的廢氣處理裝置中，臭氧與有機廢氣的反應變得緩慢困難，同樣制約了設備的處理效能。
? ? ? ?因此，我們嘗試將這兩種處理方案結合起來。將等離子裝置布置在光解設備的前段，離子裝置產生的O3與有機廢氣混合后，流經紫外線燈管。紫外線燈管能進一步地觸發O3的生成，同時在燈管254nm紫外線的催化作用下，O3與有機物的反應效能大幅提升，從而取得理想的處理效果。由于等離子裝置較紫外燈管高得多的臭氧產生效能，使得設備的功耗隨之降低，節能效果顯著。
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